万级烘箱
- 产品名称：万级烘箱
- 产品型号：RSD-COL-640H
- 产品厂商：荣仕达
- 产品文档：
万级烘箱
的详细介绍RSD-COL-640H万级烘箱技术参数：
万级洁净烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
万级烘箱参数资料：
一．特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 1000/100/10
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采用进口SUS304#2mm厚之镜面不锈钢板或国标镜面不锈钢材质，并经碱性苏打水清洁，去油污避
免烘烤时产生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门
(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
二．执行与满足标准
1.GB/T11158-1989高温烘烤技术条件
2.GB2423.2-1989标准B
三．用途
无尘烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘洁净烘箱温度选配60～250℃（300℃）
四．产品技术参数
1.名称及型号：RSD-COL-640H
2.主要技术指标：
2.1无尘等级：Class 10000;
2.2温度范围： 20～250℃（300℃）；
2.3温度均匀度：±1.5℃;
2.4温度波动度：±0.5℃（空载）
2.5温控精度：±0.1℃;
2.6烘箱搁板为活动形式。
2.7工作尺寸：W800×H1000×D800
2.8电源：380v , 50Hz，9.0Kw
3、万级烘箱体结构：
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：外箱采用SUS304不锈钢或 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
3.4内胆材料：采用进口SUS304#之镜面不锈钢板或国标镜面不锈钢材质，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用进口SUS304#镜面不锈钢板或国标镜面不锈钢材质，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密加工(防污染)。
4、温控系统
4.1采用日本OMRON E5A型温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定，**度±0.3% FS；
4.2讯号来源：采进口BA感应棒±0.5%。
4.3输出被控制组件：SSR无接点讯号输出。
5、完善的**保护措施：漏电断路器、控制线路保险丝装置、超温防止保护装置、电热过电流保护装置、马达过电流保护、机台异常蜂鸣器警示逆向防止器、门面**开关
6、无尘烘箱选购设备：
6.1 可程式温控器
6.2六点温度记录仪
6.3双色指示灯
6.4烘烤架
RSDCOL系列智能万级烘箱（型号规格表）
|
容积 |
型号 |
控温范围 |
控温精度 |
电源电压 |
内胆尺寸（mm） |
层数 |
|
70L |
RSD-COL-070H |
RT-250℃ |
±1℃ |
220V/50Hz |
W400*D350*H500 |
2层 |
|
180L |
RSD-COL-180H |
RT-250℃ |
±1℃ |
220V/50Hz |
W600*D600*H500 |
2层 |
|
270L |
RSD-COL-270H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W600*D500*H900 |
3层 |
|
340L |
RSD-COL-340H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W700*D700*H700 |
3层 |
|
620L |
RSD-COL-620H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W800*D600*H1300 |
4层 |
|
640L |
RSD-COL-640H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W800*D800*H1000 |
4层 |
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